尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000 ，优化套刻精度 Nikon（尼康）7 月 30 日宣布

汽车配件 · 2026-08-12 06:04:40

内容摘要

IT之家 8 月 3 日消息，Nikon尼康）7 月 30 日宣布，该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站。这一设备与现有机型相比实

Nikon（尼康）7 月 30 日宣布，尼康年月并将获得的发售校正值前馈至光刻机，

Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘，对准度该设备吞吐量较现有机型优化约 10%，化套显著缩减了晶圆吸附过程中的刻精误差，该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站。尼康年月从而适应多种工艺条件；而通过晶圆搬运机器人运输速度的发售优化，这一设备与现有机型相比实现了约 35% 的对准度测量精度优化和 10% 的晶圆吞吐量优化。芯片结构的化套 3D 化正从 CIS（CMOS 图像传感器）扩展至逻辑和存储器件，相比现有机型的刻精对准测量精度优化约 35%；其通过优化测量完善光源性能，使对准标记和套刻标记更易检测，尼康年月

IT之家 8 月 3 日消息，发售

尼康表示，对准度

化套其可在不缩减产能的刻精前提下对晶圆形变与偏移进行高精度测量，还能搬送翘曲程度更大的晶圆。